过滤电弧真空镀膜技术

DCVA TECHNOLOGY

工艺原理

PROCESS

01

真空环境

在高真空腔体内(约 10⁻⁴ Pa),消除空气分子干扰,确保沉积纯净度。

02

电弧离化

采用电弧放电方式离化靶材(碳/铬),产生高能离子、电子和颗粒。

03

磁场过滤

通过弯曲磁场,将宏观颗粒完全过滤,仅允许纯离子通过。

04

纯离子沉积

100% 纯离子以高能量轰击工件表面,形成致密结合力强的镜面镀膜。

DCVA vs 传统 PVD

COMPARISON

指标DCVA(胜润)传统 PVD
膜层纯度100% 纯离子含宏观颗粒
表面粗糙度Ra < 0.05μm(镜面)Ra > 0.3μm
结合力极强(HF1 级)一般(HF3–4 级)
最高硬度4500 HV(ta-C)≤ 2000 HV
工艺控制自主设备,精准可控标准设备,参数固定

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