过滤电弧真空镀膜技术
DCVA TECHNOLOGY
工艺原理
PROCESS
01
真空环境
在高真空腔体内(约 10⁻⁴ Pa),消除空气分子干扰,确保沉积纯净度。
02
电弧离化
采用电弧放电方式离化靶材(碳/铬),产生高能离子、电子和颗粒。
03
磁场过滤
通过弯曲磁场,将宏观颗粒完全过滤,仅允许纯离子通过。
04
纯离子沉积
100% 纯离子以高能量轰击工件表面,形成致密结合力强的镜面镀膜。
DCVA vs 传统 PVD
COMPARISON
| 指标 | DCVA(胜润) | 传统 PVD |
|---|---|---|
| 膜层纯度 | 100% 纯离子 | 含宏观颗粒 |
| 表面粗糙度 | Ra < 0.05μm(镜面) | Ra > 0.3μm |
| 结合力 | 极强(HF1 级) | 一般(HF3–4 级) |
| 最高硬度 | 4500 HV(ta-C) | ≤ 2000 HV |
| 工艺控制 | 自主设备,精准可控 | 标准设备,参数固定 |
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